pangui833 发表于 2011-6-20 22:43:03

润滑皮膜技术

精工开发的一种名为“E-DFO”的润滑皮膜技术,具有皮膜耐用性高且不易污染真空环境的特点。该技术主要用于加工在滚珠丝杠(Ball Screw)和滚动轴承的球形轨道面上由润滑油和吸着物构成的润滑皮膜。与原来的“V-DFO”技术相比,皮膜耐用性可最大提高至20倍,而且还可将对真空环境的污染减少至一半以下。该公司将于2005年9月上市采用该技术的真空装置用的滚珠丝杠、直线导轨副(Linear Guide)和滚动轴承。
E-DFO技术使用的润滑油具有分子量小、蒸气压比氟油更低的特点。因此,蒸发速度较慢,只有氟油的约1/1000。另外,作为吸着物使用的片状PTFE(聚四氟乙烯)粉末在润滑剂上的吸着面积较大。因此,润滑皮膜的吸着能力更强,皮膜的保持强度更大。通过采用上述材料,延长了皮膜的寿命,减少了有机材料的气体生产量。
该技术主要面向晶圆检测装置、光测量装置、皮膜装置、真空干涉测量仪及镜头检测装置等。
文章关键词: 轴承、润滑油
页: [1]
查看完整版本: 润滑皮膜技术

中国磨床技术论坛
论 坛 声 明 郑重声明:本论坛属技术交流,非盈利性论坛。本论坛言论纯属发表者个人意见,与“中国磨削技术论坛”立场无关。 涉及政治言论一律删除,请所有会员注意.论坛资源由会员从网上收集整理所得,版权属于原作者. 论坛所有资源是进行学习和科研测试之用,请在下载后24小时删除, 本站出于学习和科研的目的进行交流和讨论,如有侵犯原作者的版权, 请来信告知,我们将立即做出整改,并给予相应的答复,谢谢合作!

中国磨削网