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yangxiaoguang 发表于 2011-6-20 22:44:56

表面处理技术：多弧离子镀工艺介绍(图)

多弧离子镀膜技术是应用最广泛的硬质膜制备技术。该技术应用冷阴极真空弧放电原理，用同一个蒸发源既做离子轰击清洗又做镀膜沉积，设备结构简单、便于操作，工艺重复性好。利用该技术可以制备多种硬质薄膜，如TiN、TiNC、TiC、ZrN、CrN、TiCN、TiAlN等。这些镀层作为功能膜广泛用作工模具及刀具的耐磨涂层。

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