润滑皮膜技术

HEATS

        精工开发的一种名为“E-DFO”的润滑皮膜技术，具有皮膜耐用性高且不易污染真空环境的特点。该技术主要用于加工在滚珠丝杠（Ball Screw）和滚动轴承的球形轨道面上由润滑油和吸着物构成的润滑皮膜。与原来的“V-DFO”技术相比，皮膜耐用性可最大提高至20倍，而且还可将对真空环境的污染减少至一半以下。该公司将于2005年9月上市采用该技术的真空装置用的滚珠丝杠、直线导轨副（Linear Guide）和滚动轴承。 

         E-DFO技术使用的润滑油具有分子量小、蒸气压比氟油更低的特点。因此，蒸发速度较慢，只有氟油的约1/1000。另外，作为吸着物使用的片状PTFE（聚四氟乙烯）粉末在润滑剂上的吸着面积较大。因此，润滑皮膜的吸着能力更强，皮膜的保持强度更大。通过采用上述材料，延长了皮膜的寿命，减少了有机材料的气体生产量。 

         该技术主要面向晶圆检测装置、光测量装置、皮膜装置、真空干涉测量仪及镜头检测装置等。