精密陶瓷球的研磨加工

3363144

陶瓷球的精度对陶瓷轴承的运转精度和高速性有很大影响。精密和超精密主轴轴承采用的陶瓷球的公差等级为G5，其球的直径变动量和球形误差≤0.13μm，表面粗糙度Ra0.02μm。为了能高效地保证达到精度要求，其加工要点：
1）要经粗、精、超精研磨和抛光等多道工序，由粗到精逐渐减小磨料粒度、研磨压力和研磨速度并逐步延长研磨的时间。
/ D: j8 L5 n: Y2）降低研磨压力并减小研磨盘的跳动（或采用很低的研磨速度），可以有效地减小表面粗糙度和波纹度。
3）研磨剂应遵循少量勤添的原则。
4）陶瓷球的材料应采用致密和缺陷小的热流体等静压烧结Si3N4（HIPSN）或ZrO2。
5）采用锥形研磨法以提高研磨效率。图2所示上研磨盘为锥形使陶瓷球在研磨时有较大自旋角（＞45º），使陶瓷球充分自旋增强回转滑动，因而比通常的V形槽研磨法有高的研磨效率。

* `9 B- B! I+ Q; h3 H