化学气相沉积层技术的优点及其应用（二）

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　　2.在模具方面的应用
　　金属材料在成形时，会产生高的机械应力和物理应力，采用CVD法得到的TiN涂层作为表面保护层，显著地降低了所产生的磨损，因为它具有下列性能：
　　1)与基体材料的结合力好，因此在成形时能转移所产生的高摩擦——剪切力。
5 G* F) c4 |$ n1 \; o& u　　2)有足够的弹性，模具发生少的弹性变形时，不会出现裂纹和剥落现象。
　　3)减少了成形材料的粘着，因此降低了“咬合"的危险。
　　4)具有好的润滑性能，它能降低模具的磨损并能改善成形工件的表面质量。
　　5)具有高硬度，它能降低磨粒磨损。
9 }$ o' x$ }1 ]5 B1 M2 }$ w　　目前，CVD已应用于凹模、凸模、拉模环、扩孔芯棒、卷边模和深孔模中，与未沉积的模具相比，沉积TiN层模具寿命可提高几倍甚至几十倍。例如，沉积有TiN的Crl2钢模圈寿命提高6～8倍，比涂硬铬高3～5倍。Crl2MoV’钢模经沉积后寿命提高20多倍，比W18Cr4V模具高2倍等。另外，在塑料注射模具上使用TiN涂层生产含有40%(质量分数)矿物填料的尼龙零件时，有效避免模具被浸蚀和磨损，使模具寿命从60万次增加到200万次。
( \% g/ S; u: C& A' d　　3.在耐磨机械零件方面的应用
# t: Q) ?5 C3 Y2 n9 F　　活塞环、注射成形用缸体、挤压用螺旋桨轴及轴承等零部件，在滑动中易磨损。因此，要求耐磨性好，摩擦因数低，与基体的粘附性好的材料。目前，进行研究和应用的有缸体和螺旋浆的TiC覆层、钟表轴承的TiN涂层、滚珠轴承的TiC、Si3N4覆层等。
　　4.在耐高温氧化方面的应用
8 S! `$ ?. j- A( z9 U7 q# T' |5 l　　SiC、SiN4、MoSi2等硅系化合物是最重要的耐高温氧化覆层，这些覆层在表面上生成致密的Si02薄膜，起着阻止氧化的作用，在1400～1600CjC温度下能耐氧化。Mo和W的CVD涂层亦具有优异的耐高温腐蚀性。因此，可应用于涡轮叶片、火箭发动机喷嘴、煤炭液化和气化设备及粉末鼓风机喷嘴等设备零件上。
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