电子束加工

gml

　　在真空条件下，由电子枪中产生的电子经过加速，聚集，形成高能量大密度的细电子束，轰击工件被加工部位，使该部位材料的温度高至熔点，从而被溶化，气化蒸发去除，达到加工的目的。电子束加工，具有以下特点：
　　1电子束能够极其微细地聚焦，能聚焦到0.1微米，故适合深孔加工。
1 Z8 X9 _5 Z8 t$ I: Y, f# P3 h　　2由于在极小的面积上具有高能量，故可加工微孔，窄缝等，且加工速度快，生产率高。
# y: S7 C. `3 P　　3加工中电子束压力小，主要靠瞬时蒸发，故工件发生的应力及变形均很小
　　4加工过程易实现自动化，电子束的强度和位置用电、磁的方法实现控制比较容易，可进行程序控制和仿型加工。由于需要高真空、高电压条件，故设备较复杂，多用于微细加工和焊接等方面。
文章关键词：