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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。
) I9 |1 o8 q+ t+ v( i7 q
& d: R0 f# O$ X1 f( y3 Y7 N2 }$ F线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。3 f1 w) W- H! V; D; Q. ^& W/ e
) T" U6 r' P! ?- q4 M
! I6 q7 E; \/ q: e
线性测量构建
% G% i% T, P. d$ Q, U进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。% L* J1 _9 y/ s+ P, j! Z5 G
图片1.jpg
线性测量原理构建图
6 H2 `. v, j; b. C
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图
$ e5 h' {6 h9 p% @! v3 }
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图

  ?# s& M. Y" M6 s/ _7 a" R' hSJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。: \% L9 ?+ M- W( m

  E& D; Y/ q4 W% D: V4 q
图片4.jpg
% r) ]8 j% ?7 U( u- `
图片5.jpg
数控机床的线性测量
' ^! ~7 n% O8 {, i; G7 d% j/ y9 y0 ?
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量
- {" @& `- L) i+ S  l
线性测量步骤:. l$ c1 [, u; b% m0 g4 `+ k
1、设置激光器系统以执行线性测量;
+ f" O" a4 g) ^4 ?9 D2、使激光束与机床的运动轴准直;0 `( d5 ]* w: P3 I
3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;; h  W! e5 r* }, u# u. R
4、测量和记录机床的线性误差;
) S4 n+ K5 R2 ?% N" X5、分析数据。0 `1 u2 R3 Y$ g# Q$ @

% ?- c$ n+ w" a+ b8 c注意事项0 [* |: z3 m: I5 C$ i* X
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
4 G, t" ]1 o: x6 {% v& G# ~" `2、使用光靶能简单准直激光束" P5 Q! M) F6 y9 S% i# x3 Z
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:. x- H7 A9 g) e8 ~: R& s3 f0 n6 ?, U
(1)光强太弱;4 K( ?+ C! H. u. O, ?, r& q
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。7 o! Y! q4 J7 U9 j; p1 l( J
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。6 g. [, R2 c5 M9 e% O% n" H0 ^1 x  a
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。# x, l: ]0 D* {8 g6 T5 K
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。( L! f- o% O, x2 ?) L
7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。
6 n2 m7 r) a4 r% S0 a& |$ @8 x4 k+ c' x2 ]6 a9 @5 L/ g7 b

) d" w& y; i5 Z6 ?5 b& h4 `
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