激光干涉仪线性测量，保证机床加工精度！

szzhongtu5

数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点，广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度，需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查，这样才能保证加工产品的质量。

线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
* M/ w: z- a, ]: M
* Q" @6 U9 i( O0 I- E
线性测量构建
! E* |' j" ?) T0 x进行线性测量需使用到“线性干涉镜”（由分光镜和角锥反射镜A组 成）和“线性反射镜”（角锥反射镜B）。激光从SJ6000主机（激光头）出射，通过分光 镜后将分成两束激光，一束激光为通过角锥反射镜A的参考光，另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光，通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。

线性测量原理构建图

水平轴的线性测量示意图

! b3 ^% @: N  _) R0 s! W7 Y. `+ _1 H- f

垂直轴的线性测量示意图

SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量，主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。

" T8 I" ?. i; ~1 i+ C9 L

数控机床的线性测量

, B8 Y) o0 r3 }( s$ B, y

数控机床倾斜轴的线性测量

: s! }- d) n+ L$ o- f0 ?线性测量步骤：
8 X5 t% L* z' U* R: C: ^1、设置激光器系统以执行线性测量；
2、使激光束与机床的运动轴准直；
3、启动自动环境补偿功能，确保在软件中输入正确的材料膨胀系数；
4、测量和记录机床的线性误差；
8 b: X2 g  E2 n! V6 @/ M5、分析数据。
8 M! o8 \2 t+ {, ?+ l7 h8 l7 q
: a3 O8 M  k! d; l' X+ Q注意事项
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候，光路调节困难，这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
2、使用光靶能简单准直激光束
3、在开始测量时，或者在返程测量时激光干涉仪不踩点，可能原因有：
（1）光强太弱；
" F' {7 r2 N" r0 g7 |（2）当返回测量时，激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确，或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。
4 J7 m' M9 x/ r+ F& p4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向，一定要正确组合线性反射镜组。
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。
' [" [7 B* I6 n) |! e3 K6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化，所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。
; S4 A) Z, r% H% G& j. i7、测试工作完成后，应先将激光头电源关掉，关闭电脑。

! q  |% g# `, z3 L" C2 Z