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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
3 A2 j2 v# F5 J! |了解工作原理和性能特点
' @8 w4 t8 h9 J& d- u/ P/ m; Q/ N7 p$ D4 y台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。- W  n) ]- K! D  n. O  C) z
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。; o. R4 f( g/ B6 W, }3 G9 x

# F% a0 T5 m! k8 x6 p7 p6 u( ]9 @功能和作用介绍
* `8 j; R' s7 v% z  x3 l. e2 v作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
; [' b/ N+ G& X+ k% V1 D: H1 Q(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;) A' G. E6 `' g' w  w
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
& C4 C5 K" O( A  r: D' Z8 m9 `(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
+ A8 G% I/ ?1 V, H" y0 w+ L6 z6 `4 M0 f0 g
台阶仪的应用+ `4 [5 Z: m! I+ p
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。6 [0 `* J4 m$ l6 B. d% c
台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
. l2 i1 I  Q/ K9 R/ @/ M# f: Z. ^# t3 d/ J! d+ ]5 t: r
台阶仪优势总结5 h  U7 P8 t3 {: x6 j  ]: g
1、高精度的测量能力0 R. v& x9 ~3 O/ @' \
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
! o7 i& ^* U) J, q& B6 S采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。# C& E) ~9 B! }' ?2 k& T; X
2、快速测量的能力$ a* ]( x  `- A4 v. W1 V" O
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
* U- p- y5 D1 u& Z% u! a; _/ q3、广泛的适用范围
7 `) A; U2 c, K( ?; i台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。4 ?; n+ Q$ z% ^' \
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