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气相沉积技术

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HEATS
发表于 2010-9-12 18:30:15 | 显示全部楼层 |阅读模式

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　　气相沉积技术是利用气相中发生物理、化学过程，在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。按沉积的主要属性可分为化学气体沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)，等离子体被引入化学气体沉积技术后，便形成等离子化学气相沉积(PCVD)

7 n7 I$ m, a0 L 2 D* S4 N/ m6 B, X

　　气相沉积在工件表面覆盖一层厚度为0.5-10um的过渡族元素(Ti，V，Cr，W，Nb等)的碳、氧、氮、硼化合物或单一的金属及非金属涂层。

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