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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
+ B$ m' s2 Q! u6 K* C* R了解工作原理和性能特点" o4 p& l( j5 e/ i7 I" {) M
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。' ?6 ]  W7 @$ N5 a( Q
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。
/ k) C; X% E  p# f$ k. n  @) Z9 [; B" N. m0 Z/ _& p4 }- F$ S
功能和作用介绍
7 Z# M% c# l9 @3 a作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:$ M4 R  R8 z  w4 @5 f0 j
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;1 z- ?6 V3 Q/ f
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
) C' H3 n9 }' x- ^" k; R/ O0 z(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。( h' O' a8 ~0 x3 P

$ ]; d$ {0 U6 A! [8 v台阶仪的应用
9 E5 q5 v2 c5 }% X% z台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
* O. ^% y$ N* B( z& M# A- |台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
2 t) _  y& _8 m% b
& A+ {" Z  S  E% a7 ]! E台阶仪优势总结
7 f+ D; s2 l/ f8 \( Z1、高精度的测量能力
( N. G' z; T# v( o台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
% i. n6 j4 b8 Z) A采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。% N" @  n0 f: n# d& j% J
2、快速测量的能力2 d3 w5 ~) M% z1 w6 \: A
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。4 S% O/ h; u* g, b
3、广泛的适用范围- G5 X4 s: d" I' Q7 s
台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。) _1 I* r2 K9 U  u2 z9 Y7 i
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