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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。% D& }/ Y. G8 B* `* H2 i( O$ m
了解工作原理和性能特点
8 r1 \/ ^( `6 r3 a4 l/ S( P' C/ t台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。. `3 c5 D5 S+ A* H4 @
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。+ B0 e" H. v+ f9 c
2 D: F; r) k+ l9 N# m! M
功能和作用介绍
: M4 N0 w6 n: R, f作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
$ g, q2 H( j( x) j' p; G! B  q, c7 K(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;
9 @5 L! _* d$ |0 W, G(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;9 @# L6 O3 Y, `- m
(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。9 U2 V  Y- {7 b2 B: K4 q0 x
( U6 n7 p6 I+ l. e* g
台阶仪的应用: a1 `- ?6 |' w+ g! Q( m9 }
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。; ?5 I( a5 R% t
台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。: @6 {% p( B0 Y) ~( {
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台阶仪优势总结) R2 _! V+ S& I* h1 v/ ^$ c
1、高精度的测量能力
% g* T* u" x1 K$ x7 n6 [台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。# ~" J& Y# N7 W5 M' S  z
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。# y) ^3 h7 B$ z, T& L! z  G- W0 I8 n
2、快速测量的能力
6 U/ [8 q2 J+ q' ]9 R台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
+ b& x8 d$ q. W5 e0 y4 _3 J3、广泛的适用范围
* K" Z6 A. V3 i- Q, F) o台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。1 b/ H6 k: c9 g9 S: Q/ G: g

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